成越科仪卷对卷式PECVD化学气相沉积设备CY-OTF由郑州成越科学仪器有限公司提供，产地为河南，属于国产化学气相沉积（CVD ...

SENTECH公司的SI 500D是一款由德国SENTECH仪器有限公司研发的ICP-PECVD设备，通过ICP高密度等离子源在低温下（100°C）沉积高质量的SiO2, Si3N4, 和SiOxNy薄膜，具备低温沉积、高速率、低损伤、薄膜特性可调等特点，适用于8寸及以下晶片。其独特的平板三螺旋天线式PTSA ...